采购文件编号:LNZB-GJZ2018-079-02
项目编号:DDWK201842
一. 项目名称:东北大学2018年第四十二批科研设备采购项目
二. 采 购 人:东北大学
三. 磋商时间:2018年9月28日北京时间上午9:30时
四. 成交供应商:上海凯来实验室设备有限公司
成交供应商地址:上海市徐汇区罗香路286号A324室
成交金额:美元壹拾肆万元整(USD: 140,000.00元)
成交标的名称:激光剥蚀系统(进口)
规格型号:主机和标准附件:NWRimageBT;备品备件:N/A
数 量:1套
标的的基本概况:
1、 激光系统
★1.1 采用高性能DPSS 激光器,输出波长: 266nm,样品表面能量密度>2 J/ cm2
2、光斑尺寸
★2.1 束斑尺寸:1 μm – 65 μm
★2.2 配置矩形可旋转光斑XYR:可设置边长的矩形光斑,特别适用于沿生长带扫描剥蚀和Imaging元素分布图。且矩形光斑带有旋转功能,可沿扫描路径自动调节角度,X和Y尺寸调节精度1μm,旋转角度调节精度为1°,连续可调,软件控制。
3、 显微观察系统
★3.1 彩色高清晰显微成像系统,光学放大倍率:15-60倍,光学分辨率<2 μm
★3.2 具有两个彩色数字摄像机(同轴和偏轴两个CCD),分别拍摄显微放大图像和广角导航图像,操作软件界面提供两个独立画面,可同时显示样品室广角图像和高分辨率微区图像。最大视域不小于25mm。兼容所有样品室,包括双体样品室。
4、照明系统
5、样品室
★5.1 配置双体积无悬臂样品室,100mmx100mm,样品杯移动简单,无漏气风险;同样适用多种尺寸的样品,包括形状不规则和表面不平整的样品。样品室内嵌托盘高度可任意调节。
6、气体控制
7、软件
注:★项不允许偏离,否则报价无效。
五. 磋商小组名单:
朱军、赵悦、陈明丽
六. 招标单位:东北大学
地址:沈阳市和平区文化路三巷11号
联系人:庄林林
电话:024-83689255
采购代理机构全称:辽宁工程招标有限公司
采购代理机构地址:沈阳市和平区南九马路47号
电话:024-23384545-802
联系人:徐佳 王勇
辽宁工程招标有限公司
2018年9月28日
